第三代功率半导体氮化镓蚀刻药剂储存电控间专用 15 匹英腾工业水冷防爆空调，蚀刻溶剂防爆恒温解决方案

第三代氮化镓功率半导体芯片制造配套蚀刻药剂储存电控间，存放高挥发性酮类、酯类、含氟蚀刻有机溶剂，药剂挥发蒸汽属于易燃易爆混合气体；电控间内部布置蚀刻药剂输送泵控制柜、液位实时监测主机，电子设备持续散热，密闭空间温度升高会大幅加速溶剂挥发，可燃蒸汽浓度快速抵达爆炸临界值。高温同时会造成液位传感器检测数据漂移，蚀刻药剂输送计量完全失控，氮化镓芯片蚀刻工序药剂配比失衡，大批量晶圆直接报废；普通商用空调无防爆防腐设计，电气触点火花、机身腐蚀渗漏均为重大安全隐患，无法满足第三代半导体危化药剂储存区域安全生产硬性要求。

15 匹英腾工业水冷防爆空调适配 280㎡以内大型蚀刻药剂储存电控间，水冷循环换热不受厂房外墙外机安装限制，精准稳定维持室内 21-25℃半导体药剂存储标准温度，减缓蚀刻有机溶剂挥发速率，同时保障液位、输送全套电控设备恒温稳定运行。整机复合型隔爆防爆一体化结构，全部带电元器件封装独立密封隔爆腔体，风机采用增安防爆电机，运转无摩擦电火花产生，即便电控间蚀刻溶剂蒸汽泄漏积聚，机组全程运行不存在引燃热源，完全匹配半导体制造危化药剂存储区域防爆规范。

氮化镓芯片蚀刻有机溶剂带有强酸性、强溶解腐蚀性，机组整机完成耐有机溶剂重防腐处理，外壳喷涂多层抗溶解环氧涂层，内部换热盘管做防腐钝化加工；空气过滤器搭载耐溶剂吸附滤芯，过滤空气中腐蚀性药剂蒸汽，避免内部金属结构被溶解腐蚀，防止管路渗漏、壳体破损带来次生安全隐患。水冷循环系统冷却水独立隔离布置，管路保温防爆包裹，表面无高温金属面，不会加速药剂挥发；水冷换热制冷输出稳定，夏季半导体厂房高温工况下，制冷性能无衰减，不会出现室内温度失控、溶剂大量挥发的安全问题。

机组搭载防爆智能联动控制系统，可对接电控间可燃溶剂气体检测仪，当蚀刻药剂蒸汽浓度超标，空调自动降低室内空气对流速度，联动防爆排风系统快速排出可燃蒸汽，同步推送故障报警至芯片车间总控平台，运维人员及时处置药剂储罐、管道泄漏问题。防爆电控箱体外置布置于电控间门外，所有温度调试、故障检修操作在室外完成，工作人员无需进入充满腐蚀性可燃溶剂蒸汽的密闭电控间，大幅降低检修防爆、化学腐蚀双重安全风险；整机模块化轻量化拆分设计，核心零部件可单独拆装更换，半导体厂区普通设备运维人员即可完成日常维护，大幅缩短药剂输送系统停机检修时长，避免氮化镓芯片蚀刻工序断料停产。

高端第三代半导体制造厂区危化品管理标准严苛，所有涉溶剂区域电气设备必须具备权威防爆检测资质，15 匹英腾工业水冷防爆空调出厂附带完整防爆合格证、第三方腐蚀工况专项检测报告，一次性通过厂区消防、安监、环保多部门验收，无需后期设备改造投入。风冷防爆空调外机长期接触芯片厂房腐蚀性溶剂废气，短期内就会锈蚀损坏，维护更换成本居高不下；英腾水冷机型无室外暴露部件，防腐耐用性大幅提升，整机设计标准使用寿命 15 年，年均维护耗材支出降低 45%；水冷节能换热结构减少厂区电力负荷，半导体车间 24 小时不间断生产工况下，长期电费节约效果显著，兼顾蚀刻溶剂防爆安全、药剂储存恒温、电控设备稳定运行三重需求，成为氮化镓功率半导体蚀刻药剂储存电控间专属温控防爆设备。